无尘车间、洁净室的温湿度主要根据您的加工工艺要求确定，在满足加工工艺工工艺的条件下，青岛无尘车间的选择应考虑人们的舒适性。随着空气净化要求的提高，工艺对温湿度的要求越来越高，青岛无尘车间必须达到一定的温湿度。

例如，在大型集成电路生产的光刻环光工艺中，玻璃和硅片作为掩膜板数据的热膨胀系数的差异越来越小。直径100um硅片，温度上升1度，导致0、24度um线性膨胀是必要的±0.恒温1度，共同要求湿度值较低。因为人出汗，以后会污染产品，尤其是怕钠的半导体车间，不会超过25度。湿度过高会导致更多的问题。当相对湿度超过55%时，冷却水管壁会结露。如果发生在精密装置或电路中，会造成各种事故。当相对湿度达到50%时，很容易生锈。但是，对于大多数，为了防止外部污染侵入，需要保持内部压力(静压)高于外部压力(静压)。保持压差一般应符合以下原因:

1.洁净度等级高的空间压力高于相邻洁净度等级低的空间压力

2.相通洁净室之间的门应打开洁净度等级高的房间

3.青岛无尘车间的压力高于非洁净空间的压力。保持压差取决于新风量，这应该能够补偿在这种压差下从缝隙漏出的风量。因此，压差的物理含义是通过洁净室各种缝隙泄漏或通风时的阻力。由于洁净室主要依靠空气的稀释来减少室内污染的程度，主要采用通风次数的概念，而不是直接采用速度的概念，但对室内气流速度也有以下要求:

1.出风口气流速度不直太大，与简单的空调房相比，速度衰减更快，扩散角度更大。

2.吹水平面的气流速度(如侧送时的回流速度)不直太大，以免吹出表面颗粒回流，造成再污染。这个速度一般不直干0.2m/s。